광폭 표면처리용 선형 이온빔 소스 및 공정 기술 개발
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2022.12.02 12:35
○ 경쟁 기술 대비 우수성: 처리속도 1.5 배 이상○ 선형 이온빔 발생기 설계/제작 기술 확보를 통한 대면적 고속 표면 처리용 선형 이온빔 소스 개발 및 P社 파일럿 라인에서 성…
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