진공챔버 내에서 복합방식으로 패턴을 임프린트하는 다층 나노임프린트장치
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2022.12.02 12:35
○ 본 기술은 기존의 광 리소그래피와 다르게 사용하는 광원의 파장에 의한 회절한계가 없어 Sub-30nm 급의 패터닝이 가능하며, 대면적 스템프를 사용할 경우 기저층(substra…
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