전자기 부양 신소재 박막증착장치
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2022.12.02 12:35
1) 본 발명은 신소재합성시에 적용가능한 공정 및 장치 기술이다.2) metal을 포함한 신소재(ex : GaN)일 경우 metal(Ga) 소스를 metal organic prec…
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